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TEGAL421等離子刻蝕機射頻電源的維修及調(diào)整rTEGAL421等離子刻蝕機射頻電源的電路圖如下:
各部分電路的作用,DC Power Supply Board板是一塊電源板提供射頻源工作所需。
AE 、ENI（MKS） 、RFPP、ADL 、COMDEL 、ADTEC 、SEREN 、 HUTTINGER。技術(shù)人員有AE公司16年以上工作經(jīng)驗，
累計維修電源和匹配器約2000臺，有MKS原廠工作12年的資深工程師。公司維修所采用的零部件等材料均為原裝進口。公
司服務(wù)宗旨是：“精益求精，品質(zhì)”。維修快可以當天完成，公司提供更長的質(zhì)保期和更優(yōu)質(zhì)的保修服務(wù)。
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