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  公司配備專用維修、檢測和負(fù)載測試工具,有多年的豐富維修經(jīng)驗(yàn),服務(wù)具體如下:

  服務(wù)機(jī)臺

  刻蝕(ET):LAM 9400、9600

  AMAT CENTURA II&I

  AMAT SEMVision G2

  離子注入(DF):VARIAN

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  服務(wù)品牌

  AE(Advanced Energy)、ENI(MKS)、SEREN、DAIHEN、VEECO射頻電源,HiTek power,Glassman、Spellman高壓電源,Lambda、delta、sorensen、Powerone直流電源。ASTeX Microwave Power Supply、ASTeX SMART MATCH、FLASH LAMP、ESC HV PSU


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