AKT UPS電源維修：AKT CVD UPS POWER P/N 0242-72503 MARATON POWER VAULT 1000TL電源修理

專業(yè)維修德國 SINGULUS 濺鍍電源、美國 MKS/ENI 濺鍍電源、ADVANCED ENERGY 、美國 AE 濺鍍電源、RF 射 頻電源、DC 直流電源、AC 交流電源。更專業(yè)的技術(shù)，更迅速的響應(yīng)高速增長的等離子體薄膜制造工藝之尖端電源的維修。 

主要維修 AE( Advanced Energy) 、 ENI （ MKS ）等國際品牌 RF 射頻電源及直流電源 。同時為各地區(qū)的半導(dǎo)體、數(shù)據(jù)存儲、光電子、真空鍍膜、平板顯示、研究所等行業(yè)提供專家級射頻電源維修保養(yǎng)。為 ENI/AE DC POWER & RF GENERATOR 提供維修維護(hù)服務(wù)。 

Ion Beam Drive ： ID-3500 、 ID-3501 、 IT-2500 、 IT-3500

AC( 交流 / 中頻系列 ) ：

PE: PE 1000 、 PE 2500 、 PE 3750 、 PE 5000 、 PE-10K 、 P E-20K

      PE-30K 、 PE-1000SG ； PE II ： PE II 5KW 、 PE II 10KW 、 PE II 60KW 

 PDX ： PDX 500 、 PDX 900-2V 、 PDX 1250 、 PDX 1400 、 PDX 2500 、 PDX 5000

 PDX 7.5K 、 PDX 8000 、 PDZ 2200 、 MSD 350W ； PDW 600 、 PDW 2200 

 PDP 2500 、 PDP 3500 ； PEP 250 、 PEP 2500 、 PEP 5000 

 Dressler LFGS:LFGS 1250A 、 LFGS:LFGS 1250B 、 LFGS:LFGS 1250C 、 LFGS:LFGS 1250D

RF ( 射頻系列 ) ：

RFG ： RFG 80 、 RFG 1250 、 RFG 1250 HALO 、 RFG 1251 、 RFG 3000 、 RFG 3001 

          RFG 5500 、 RFG 2K-2V 、 RFDS 1250 、 RFDS 1250-A 、 RFDS 3000 、 RFDS 2Kw-2KV

 APEX ： Apex 1513 、 Apex 2027 、 Apex 3013 、 Apex 4027  Apex 5513 、 Apex 7kW/13

             Apex 10kW/13 、 Apex 3513 、 Apex 10013 、 Apex 8013 、 Atlas 2 、 Atlas 1513

             Atlas 3013 、 Atlas 2504 、 Atlas 2027 、 Atlas 2012 、 Atlas 4012 、 Atlas 5002

             Atlas 5012 、 Atlas 5013 、 Atlas 5027 、

Rapid F  RFX ： RFX 600 、 RFX 600A 、 RFX 1250 、 RFX 2500 、 RFX 5500 、 RFG-AZX 

RFX II ： RFX II 1250 、 RFX II 3000 、 RFX II 5500 ；

HFG ： HFG 2500 、 HFG 5000 、 HFG 4M 

HFV ： HFV-3K 、 HFV-5K 、 HFV-8K 、 HFV-L 3KW

Ovation VHF:VHF-2760W 、 VHF-2060 、 VHF-2560 、 VHF-35162

ICP Generator:ICP-1KW 、 ICP-1.5KW 、 ICP-1.6KW 、 ICP-2KW

Dressler HPG:HPG 03300 、 HPG 13150 、 HPG 13300 、 HPG 27300

Dressler Cesar: Cesar 0210 、 Cesar 0220(200v/400v) 、 Cesar 0225(200v/400v) 、 Cesar 0230(200v/400v) 、 Cesar 0250(200v/400v) 、 Cesar 026 、 Cesar 0410 、 Cesar 0420(200v/400v)

 Cesar 0425(200v/400v) 、 Cesar 0450(200v/400v) 、 Cesar 046 、 Cesar 1310 、 Cesar 1312 

 Cesar 1320(200v/400v) 、 Cesar 1325(200v/400v) 、 Cesar 133 、 Cesar 1330(200v/400v)