日本ULVAC愛發(fā)科多室式濺射設備ENTRON維修，控制器，驅動電路，無顯示，無電源等維修

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詳情介紹：

多室式濺射設備 ENTRON?系列 多室濺射系統(tǒng)ENTRON?是連接各種工藝的新平臺。 作為優(yōu)異模型濺射設備，實現(xiàn)了高生產力和節(jié)能的優(yōu)化平衡，可對應下一代產品進行應用擴展。 產品化模塊包括先進的PVD，CVD，ALD，以便通過愛發(fā)科獨有的技術進行精細布線。日本ULVAC愛發(fā)科多室式濺射設備ENTRON維修

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